磨削碳化硅生产技术
「碳化硅」晶圆制造及精密磨削、抛光、清洗解决 ...
精密磨削技术解决方案. 碳化硅是一种典型的脆性材料，其晶圆制造过程中容易产生表面损伤和暗裂等缺陷。为了确保晶圆的质量和性能，制造环节涉及到多种精密磨削技术，如砂 研磨工艺是去除切割过程中造成碳化硅晶片的表面刀纹以及表面损伤层，修复切割产生的变形。 由于SiC的高硬度，研磨过程中必须使用高硬度的磨料（如碳化硼或金刚石粉）研 详解碳化硅晶片的磨抛工艺方案 - 知乎2024年3月7日 碳化硅（SiC）作为一种先进的半导体材料，在多个关键领域中具有重要应用。随着技术进步和市场的需求增长，碳化硅晶圆的制造工艺和精密加工技术变得至关重要。「碳化硅」晶圆制造及精密磨削、抛光、清洗解决 ...
中北大学刘瑶副教授、祝锡晶教授等：SiC陶瓷先进 ...
本文综述了sic陶瓷先 进磨削技术的最新研究进展，介绍了高速磨削（hsg）、超声振动辅助磨削（uvag）、激光辅助磨削（lag）和电解在线修整磨削（elidg）等技术的磨削原理和设备，通过讨论不同加工技术下的 项目全面揭示新一代半导体材料单晶碳化硅在各种磨粒作用下的表现特征与行为机制，从源头上解决 SiC 单晶基片高效平坦化阶段的瓶颈问题。. 提出并攻克基于凝胶原理的超细金刚 单晶SiC 基片高效超精密磨粒加工技术基础研究 - hqu.cn固相法是利用两种或两种以上的固体物质，通过充分研磨和高温煅烧生产碳化硅的传统方法。该法生产的碳化硅粉体不够细，杂质多，能耗低，效率低，但由于操作工艺简单，仍被 碳化硅的制备及应用最新研究进展 - 汉斯出版社
碳化硅衬底磨抛加工技术的研究进展与发展趋势
2024年4月17日 摘要: 碳化硅衬底难加工的材料特性叠加其大尺寸化、超薄化的放大效应，给现有的加工技术带来了巨大的挑战，高效率、高质量的碳化硅衬底加工技术成了当 碳化硅的金刚石高效精密磨削机理和实验研究. 碳化硅陶瓷具有高强度和硬度,高弹性模量,低密度,良好的导热性和低膨胀性等优点,在石油,化工,航空航天,汽车等工业领域得到了广泛应 碳化硅的金刚石高效精密磨削机理和实验研究 - 百度学术
